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老虎說芯
老虎說芯
“老虎說芯”由北京大學(xué)微電子專業(yè)本碩,中國電源學(xué)會會員、在半導(dǎo)體行業(yè)有10多年經(jīng)驗(yàn)的胡獨(dú)巍先生撰寫,為大家提供半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)于材料、工藝、應(yīng)用、市場、資訊等方面的內(nèi)容。在知乎有同名賬號。
一文解讀半導(dǎo)體掩膜版
  • 更新日期: 2025-01-15
  • 瀏覽次數(shù): 1871
晶圓制造核心材料 掩膜版,亦稱光罩,是微電子制造領(lǐng)域內(nèi)光刻工藝不可或缺的核心組件,其角色相當(dāng)于傳統(tǒng)攝影中的“底片”,扮演著承載精密圖形設(shè)計和技術(shù)知識產(chǎn)權(quán)信息的媒介角色。這一技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、平板顯示制造、電路板生產(chǎn)及觸控屏產(chǎn)業(yè)等多個高科技領(lǐng)域。依據(jù)最終應(yīng)用領(lǐng)域的差異,掩膜版被細(xì)分為平板顯示掩膜版、……
BOAT(晶舟):承載和傳送晶圓的工具
  • 更新日期: 2025-01-15
  • 瀏覽次數(shù): 1599
在半導(dǎo)體集成電路(IC)制造過程中,BOAT(晶舟)是一種常用的工具,主要用于承載、傳送、清洗和處理芯片。它的作用類似于運(yùn)輸工具,確保芯片在復(fù)雜的制造工藝中能夠順利、安全地完成各個環(huán)節(jié)的處理。 一、BOAT的定義與功能 BOAT是半導(dǎo)體制造過程中用于承載和傳送芯片的工具。它的名稱“晶舟”形象地比喻了其在半導(dǎo)……
晶圓定位邊(wafer flat)和凹槽(notch)之間的關(guān)系
  • 更新日期: 2025-01-15
  • 瀏覽次數(shù): 1499
晶圓定位邊(wafer flat)和凹槽(notch)是晶圓制造過程中用于確定晶圓方向的重要特征,它們在晶圓的加工、對準(zhǔn)和檢測中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。 1. 晶圓定位邊(Wafer Flat) 晶圓定位邊是指晶圓外緣上平直的部分,它用于標(biāo)記晶圓的特定方向,確保在晶圓的加工和處理過程中,晶圓能夠正確地對準(zhǔn)??伞?/div>
為什么晶圓的邊需要鋪滿電路?
  • 更新日期: 2025-01-15
  • 瀏覽次數(shù): 1068
晶圓制造工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)中的關(guān)鍵步驟,晶圓的邊緣區(qū)域?qū)φ麄€制造過程和成品良率具有重要影響。 1. 防止邊緣效應(yīng)影響芯片質(zhì)量 邊緣效應(yīng)指的是由于晶圓邊緣的處理不同于中心區(qū)域,導(dǎo)致的電學(xué)和物理性能的差異。晶圓邊緣由于距離加工工具較遠(yuǎn)或光刻曝光時的處理不均,可能會出現(xiàn)性能不穩(wěn)定的情況。比如,金屬層和通孔的連接可能……
FAB中PIE的作用和要求
  • 更新日期: 2024-12-18
  • 瀏覽次數(shù): 1382
工藝整合工程師(Process Integration Engineer,PIE) 是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的重要崗位,負(fù)責(zé)協(xié)調(diào)和優(yōu)化整個芯片制造流程中的工藝整合。這一角色需要將多個制造工藝步驟整合為一個無縫的流程,以確保芯片的性能、良率和可靠性。 一、核心職責(zé) 1、工藝整合 將不同的工藝模塊(如光刻、蝕刻、……
描述晶圓薄膜厚度的單位:埃
  • 更新日期: 2024-12-18
  • 瀏覽次數(shù): 1195
1、什么是埃(Angstrom)? 埃(符號:?)是一種非常小的長度單位,主要用于表示微觀領(lǐng)域的尺度,例如原子、分子之間的距離,或者晶圓制造中的薄膜厚度。1 ? 等于 (10^{-10}) 米,也就是0.1納米(nm)。為了更直觀地理解這個概念,我們可以通過以下比喻說明: 一根人的頭發(fā)直徑約為70,000納……
SMIC MPW班車表中如何理解AT、MV、HE、ATV?
  • 更新日期: 2024-12-18
  • 瀏覽次數(shù): 1237
"AT"、"MV"、"HE"、"ATV"實(shí)際上是SMIC在其晶圓制造工藝中使用的一些標(biāo)識符,通常與特定的工藝、技術(shù)類型和特色流程相關(guān)。SMIC 2025 MPW 班車表如下: 1. AT — Advanced ……
晶圓刻蝕工藝中的Qtime管控
  • 更新日期: 2024-12-18
  • 瀏覽次數(shù): 1675
Qtime管控(Queue Time Control)是半導(dǎo)體制造過程中一個重要的和效率管理環(huán)節(jié),尤其在刻蝕工藝(ETCH)中顯得尤為重要。 一、Qtime的定義和重要性 Qtime(Queue Time)即“排隊時間”,是指在生產(chǎn)流程中,某一工序或設(shè)備在接收到任務(wù)后,等待處理的時間。具體來說,Qtime是指晶圓在一個工序的前一工序完成到該工序開始的時間間隔。在刻蝕工藝中,Qtime主要是指晶圓在不同的刻蝕步驟之間的等待時間,或者從晶圓進(jìn)入刻蝕機(jī)到開始刻蝕的時間。 Qtime的管控至關(guān)重
如何理解晶圓制造的生產(chǎn)周期時間(Cycle Time)
  • 更新日期: 2024-12-09
  • 瀏覽次數(shù): 1348
作為晶圓制造中的核心指標(biāo)之一,生產(chǎn)周期時間(Cycle Time,簡稱CT)對于衡量制造效率和產(chǎn)能至關(guān)重要。 1. 什么是生產(chǎn)周期時間? 生產(chǎn)周期時間是指從生產(chǎn)原料(如硅片)進(jìn)入生產(chǎn)線,到最終產(chǎn)品(如完成制造的晶圓或芯片)從生產(chǎn)線輸出所需要的全部時間。在晶圓制造領(lǐng)域,Cycle Time 是衡量生產(chǎn)效率、分……
晶圓制程recipe的定義、種類、構(gòu)建與驗(yàn)證、優(yōu)化及其在工藝流程中的作用
  • 更新日期: 2024-12-09
  • 瀏覽次數(shù): 1298
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,recipe(工藝配方)是指一套精確定義的工藝參數(shù)和操作程序,用于指導(dǎo)生產(chǎn)設(shè)備執(zhí)行特定的加工任務(wù)。它貫穿于晶圓制造的各個工藝環(huán)節(jié),是實(shí)現(xiàn)工藝穩(wěn)定性、產(chǎn)品質(zhì)量控制以及生產(chǎn)效率提升的核心工具。 一、Recipe 的定義與重要性 1、什么是Recipe? Recipe 是一套設(shè)備參數(shù)的集合……
什么是Dummy Wafer(填充片)
  • 更新日期: 2024-12-09
  • 瀏覽次數(shù): 1176
一、Dummy Wafer 的定義與作用 Dummy Wafer,中文稱為填充片,是在晶圓制造過程中專門用于填充機(jī)臺設(shè)備的晶圓,通常不會用于實(shí)際生產(chǎn),也不會直接作為成品出售。其主要作用是為滿足設(shè)備運(yùn)行的特定要求或約束,確保設(shè)備的工藝性能穩(wěn)定,同時優(yōu)化資源利用率并減少生產(chǎn)風(fēng)險。 Dummy Wafer 的設(shè)計……
光罩(Mask)的系統(tǒng)性講解
  • 更新日期: 2024-12-09
  • 瀏覽次數(shù): 1538
光罩(Mask),也稱為掩膜版,是集成電路(IC)制造過程中核心且關(guān)鍵的元件之一。作為光刻技術(shù)的核心工具,光罩將設(shè)計好的電路圖案轉(zhuǎn)移到晶圓表面,其質(zhì)量直接決定了芯片制造的精度和性能。 1. 光罩的基本結(jié)構(gòu) 光罩是一種特殊的“模版”,由兩部分組成: 基底材料:石英。石英具有高透明度和低熱膨脹系數(shù)的特性,……

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