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- 更新日期: 2022-03-17

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MEMS(MicroelectronMechanicalSystems)系統(tǒng)即微機電系統(tǒng),是指可批量制作的,集微型傳感器、執(zhí)行器、機械結構、電源能源、信號處理、控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微米或納米級器件或系統(tǒng)。 MEMS傳感器是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域,其采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。 與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。 同時,在微米